北京
国家知识产权局信息显示，上海世禹精密设备股份有限公司申请一项名为“一种晶圆夹持旋转装置”的专利，公开号CN121358245A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆夹持旋转装置，包括夹持机构和驱动机构；夹持机构包括侧臂和夹爪；夹爪通过溃缩结构安装在侧臂上，溃缩结构包括设于侧臂内侧面上的安装槽，安装槽内设有与夹爪连接的连接块，连接块与安装槽之间具有间隔形成缓冲区域，夹爪内连接有支撑轴，连接块和侧臂上设有相通的第一穿孔和第二穿孔，第二穿孔分为粗段部和细段部，在粗段部内设有套在支撑轴上的压簧，连接块内连接有导向轴，侧臂上具有通孔，导向轴的自由端穿过通孔，侧臂的外侧面上设有接触传感器。这样，通过压簧与缓冲区域，可有效抵消夹爪传递的部分夹持冲击力，将夹爪与晶圆间的刚性接触力转化为柔性缓冲力，避免因夹持力过大直接挤压晶圆导致破裂。
天眼查资料显示，上海世禹精密设备股份有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2622.8941万人民币。通过天眼查大数据分析，上海世禹精密设备股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目68次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息194条，此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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