北京
国家知识产权局信息显示，江苏汉印机电科技股份有限公司申请一项名为“碳化硅薄膜外延生长过程控制方法”的专利，公开号CN121295347A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种碳化硅薄膜外延生长过程控制方法，本发明涉及半导体材料制备技术领域，本发明通过在反应室集成紫外、可见、近红外三段光谱成像模块，同步采集衬底表面光信号并进行校准与预处理，得到多光谱图像；利用改进U‑Net模型分割缺陷区域并提取形态与光谱特征，结合特征判别缺陷类型；通过CNN‑LSTM模型预测缺陷扩展速率，并匹配核心调控参数组并生成靶向调节策略。本发明提升了缺陷检测精度与类型判别准确性，实现了对缺陷生长的精准预测和针对性调控，保障了碳化硅薄膜外延生长质量。
天眼查资料显示，江苏汉印机电科技股份有限公司，成立于2012年，位于盐城市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4899.9999万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏汉印机电科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目31次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息162条，此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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