北京
国家知识产权局信息显示，ALD真空技术有限公司申请一项名为“工件承载装置的更换方法、工件承载装置及用于涂覆基板的生产车间”的专利，公开号CN121295124A，申请日期为2021年7月。
专利摘要显示，本揭露是有关于一种用于在一生产车间(10)中更换一工件承载装置(50)以涂覆多个基板(12)的方法。此方法包括以下步骤：通过一机器人(16)将依工件承载装置(50)从一供应区(20)移动到一处理区(14)；通过机器人(16)进一步移动工件承载装置(50)，经由工件承载装置(50)的一耦接接口(60)将工件承载装置(50)可释放地耦接到生产车间(10)，其中为了将工件承载装置(50)可释放地耦接到生产车间(10)，工件承载装置(50)的一连接臂(58)耦接到生产车间(10)的一连接部分(26)，从而将连接臂(58)固定在相对于连接部分(26)的一固定位置，并且其中为了将工件承载装置(50)可释放地耦接到生产车间(10)，工件承载装置(50)的一驱动轴(56)连接到生产车间(10)的一驱动轴(28)，从而以一可旋转驱动的方式将驱动轴(56)连接到驱动轴(28)。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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