盛美上海申请基板处理装置相关专利，气帘弥补洗边难题并阻挡化学液飞溅

来源：新浪证券-红岸工作室

1月10日消息，国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“基板处理装置及基板处理方法”的专利。申请公布号为CN121310877A，申请号为CN202410914104.7，申请公布日期为2026年1月9日，申请日期为2024年7月8日，发明人王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华、贾照伟，专利代理机构上海专利商标事务所有限公司，专利代理师骆希聪，分类号H10P72/00、H10P72/76、B08B3/02、B08B3/08。

专利摘要显示，本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置包括：承载台，用于承载所述基板并带着所述基板旋转；喷头，包括液体出口和部分包围所述液体出口的气体出口，所述气体出口在所述承载台上的正投影位于承载台中心与所述液体出口在所述承载台上的正投影之间，所述液体出口用于喷出化学液形成液柱以清洗基板边缘，所述气体出口用于喷出气体形成气帘；在所述基板旋转时，所述喷头被配置为使所述液柱与所述气帘沿着所述基板的一圈洗边线移动，所述气帘部分包围所述液柱，本发明所提供的气帘弥补了低速旋转下离心力不足以甩出化学液无法完成洗边的问题；同时，气帘还可以阻挡飞溅的化学液，避免飞溅的化学液对基板的中心区域造成缺陷。

天眼查数据显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司成立日期2005年5月17日，法定代表人HUI WANG，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本47989.2514万人民币，实缴资本37264.99万人民币，注册地址为中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢。盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目172次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息665条，拥有行政许可31个。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1基片湿法处理装置及基片处理设备发明专利公布CN202511696240.42025-11-19CN121149062A2025-12-16李亚洲、贾社娜、王俊、林金木、方波、李昱2基板处理装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511376375.22025-09-25CN120878605A2025-10-31苏政、贾社娜、邓新平3供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质发明专利公布CN202511292108.72025-09-11CN120767230A2025-10-10苏政、贾社娜、李彬、邓新平4处理液供给机构及涂覆装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511292109.12025-09-11CN120790418A2025-10-17程成、吴均、赵中旭、徐飞、王坚、李康植5排气用防腐组件及炉管设备发明专利授权CN202511100391.92025-08-07CN120591755B2025-12-12段航、周冬成6单片晶圆干燥设备及干燥方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510873904.32025-06-27CN120403215A2025-08-01谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、李兴、宗源7薄膜沉积装置及薄膜沉积方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510874680.82025-06-27CN120366747B2025-09-23戴明宇、周培垄、李天天、费红财、陈更明、成康、金京俊8基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备发明专利授权、公布CN202510780743.32025-06-12CN120319704B2025-10-17许创威、贾社娜、张大海9双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510594876.12025-05-09CN120127033B2025-08-15谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、宗源10晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510526003.72025-04-25CN120072715B2025-07-25王双五、苏飘、朱国辉、宗源、胡海波、张晓燕11化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510432151.22025-04-08CN119934438B2025-08-08陶泽魏、胡海波、张晓燕12化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510432151.22025-04-08CN119934438B2025-08-08陶泽魏、胡海波、张晓燕13炉管设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510312070.92025-03-17CN119824390B2025-07-11杨扬、贾社娜、张大海14炉管设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510312070.92025-03-17CN119824390B2025-07-11杨扬、贾社娜、张大海15进气管及炉管设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510295477.52025-03-13CN119800332B2025-07-04蒯蔚、周冬成、蒋攀辉16进气管及炉管设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510295477.52025-03-13CN119800332B2025-07-04蒯蔚、周冬成、蒋攀辉17基板处理设备及方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510114602.82025-01-23CN120143565A2025-06-13徐飞、李康植、吴均、杨仁政、程成、王坚18晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510066274.92025-01-16CN119480619B2025-04-25戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕19晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510066274.92025-01-16CN119480619B2025-04-25戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕20基板处理装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411383228.32024-09-29CN120033106A2025-05-23王晖、陶晓峰、黄天宇、韩阳、何西登、贾社娜、刘文博、张晓燕、胡海波、刘阳、吴杨21用于方形基板的卡盘发明专利公布CN202411358048.X2024-09-26CN121192044A2025-12-23王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华22支撑装置及基板退火设备发明专利授权CN202411351739.72024-09-25CN119920747B2025-11-14顾昱、王玉玺、杨宏超、王晖、王坚23管路拆装工装发明专利授权CN202411028309.12024-07-29CN119927842B2025-12-19杨超繁、贾社娜、张大海24基板处理装置及基板处理方法发明专利公布CN202410914104.72024-07-08CN121310877A2026-01-09王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华、贾照伟25半导体冷却装置及半导体湿法刻蚀系统发明专利公布CN202410861050.22024-06-28CN121230359A2025-12-30练长均、高耀栋、宋成亮、刘鼎新、何西登、谢潮东、方毅敏26一种组分分离装置、液体回收设备及方法发明专利公布CN202410867969.22024-06-28CN121222097A2025-12-30魏雄飞、石宁、王文军、张晓燕、邓新平27电镀装置及电镀方法发明专利公布CN202410865294.82024-06-28CN121228330A2025-12-30吴勐、肖炎、杨宏超、贾照伟、王坚、王晖28基板处理方法发明专利公布CN202410856154.42024-06-27CN121228332A2025-12-30王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、刁建华、肖炎、吴勐29刷子组件和半导体清洗设备发明专利公布CN202410856136.62024-06-27CN121222715A2025-12-30孙建、朱国辉、王晖30清洁系统及退火装置发明专利公布CN202410854337.22024-06-27CN121222752A2025-12-30刘林波、余齐兴、金一诺、司生辉、宋永灏、王玉玺31基板边缘刻蚀装置发明专利公布CN202410854349.52024-06-27CN121237674A2025-12-30顾争荣、初振明、王东东、张晓燕、贾福金、向阳32电镀装置发明专利公布CN202410852582.X2024-06-27CN121228324A2025-12-30花宇、杨宏超、金一诺、王坚、王晖33加热装置及基板处理设备发明专利公布CN202410852574.52024-06-27CN121237673A2025-12-30王晖、贾社娜、苏政、路添竣、陶泽魏、季昆、邓新平34基板定位装置及基板定位方法发明专利公布CN202410843707.22024-06-26CN121215586A2025-12-26王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、杨小亚35化学气相沉积方法发明专利公布CN202410844357.12024-06-26CN121204634A2025-12-26孙旭海、刘满成36高温炉管的密封结构及密封方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410825152.92024-06-24CN119845044A2025-04-18吕策、张大海、王晖、沈周燮37边缘刻蚀位置的控制方法及装置发明专利公布CN202410825019.32024-06-24CN121215519A2025-12-26庞博、肖登、初振明、张晓燕、王晖38边缘清洗装置及边缘清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410816709.22024-06-21CN120237044A2025-07-01王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、杨小亚39用于方形基板的卡盘发明专利公布CN202410816350.92024-06-21CN121192043A2025-12-23王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华40用于电镀设备的检测方法及检测系统发明专利公布CN202410782849.22024-06-17CN121155061A2025-12-19石轶、左经之、任正博、王晖、金一诺41晶圆处理装置发明专利公布CN202410782703.82024-06-17CN121171920A2025-12-19戴明宇、贺斌、费红财、田连刚、朱志君、金京俊42立式炉管发明专利公布CN202410783591.82024-06-17CN121161259A2025-12-19吕策、王晖、贾社娜、张大海43薄膜沉积装置及薄膜沉积方法发明专利公布CN202410783053.92024-06-17CN121161269A2025-12-19田连刚、王晖、贺斌、金京俊44一种用于基板夹具的密封件以及基板夹具发明专利公布CN202410775356.62024-06-14CN121137756A2025-12-16陆陈华、杜阳、杨宏超、贾照伟、张静、王坚、王晖45旋转轴及基板保持装置发明专利公布CN202410759087.42024-06-12CN121123106A2025-12-12韩阳、黄天宇、王涛、王涛、邵留宝46基板热处理装置发明专利公布CN202410758318.X2024-06-12CN121123057A2025-12-12张剑松、王文军、王晖、李康植47射频功率调节装置及方法发明专利公布CN202410758312.22024-06-12CN121124833A2025-12-12朱志君、王晖、金京俊48一种封装结构的清洗方法及清洗装置发明专利公布CN202410687252.X2024-05-29CN121054512A2025-12-02陆陈华、贾照伟、张静、王坚、王晖49一种封装结构的清洗装置及清洗方法发明专利公布CN202410687295.82024-05-29CN121042286A2025-12-02麻森朋、赵悦、贾照伟、杨宏超、陆陈华、王坚、王晖50进气系统及炉管设备发明专利公布CN202410685462.52024-05-29CN121046813A2025-12-02李抒怀、周冬成、石家燕

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