国家知识产权局信息显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请一项名为“一种分气结构及多站式工艺腔”的专利,公开号CN121250337A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明提供了一种分气结构及多站式工艺腔。分气结构包括:进气管,连接气源;混气腔室,包括第一进气口及多个第一出气口,其中,所述第一进气口连接所述进气管;以及多根文丘里管,其中,每根所述文丘里管的第一端分别连接一个所述第一出气口,而其第二端分别连接一个工作站。
天眼查资料显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司,成立于2023年,位于沈阳市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司参与招投标项目26次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息430条,此外企业还拥有行政许可16个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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