北京
国家知识产权局信息显示，山东产研微纳与智能制造研究院有限公司申请一项名为“一种微热板结构背腔的刻蚀方法”的专利，公开号CN121225533A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明属于半导体制造领域，提供了一种微热板结构背腔的刻蚀方法，包括：取负载有支撑薄膜的晶圆，在所述支撑薄膜正面负载一层光刻胶，得到负载支撑薄膜‑光刻胶的晶圆；将所述负载支撑薄膜‑光刻胶的晶圆的背腔进行刻蚀，使晶圆剩余厚度为30μm‑50μm，得到刻蚀后的晶圆；在所述刻蚀后的晶圆的正面负载一层蓝膜，得到负载有蓝膜的晶圆；将所述负载有蓝膜的晶圆刻蚀完全，去除光刻胶和蓝膜，即得。本发明通过在薄膜正面负载一层蓝膜，增加了正面薄膜强度，防止薄膜破裂；即便部分薄膜因为应力破裂，蓝膜也可阻止He气泄露或者掉落在腔室。同时，利用光刻胶以便于快速去除蓝膜，制备的薄膜完整，正面无污染。
天眼查资料显示，山东产研微纳与智能制造研究院有限公司，成立于2020年，位于济南市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3300万人民币。通过天眼查大数据分析，山东产研微纳与智能制造研究院有限公司参与招投标项目19次，专利信息10条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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