北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“气体注入系统、反应器系统以及供应处理气体的方法”的专利，公开号CN121237682A，申请日期为2025年6月。
专利摘要显示，公开了气体注入系统、包括气体注入系统的反应器系统以及用于向反应室供应处理气体的方法。所公开的气体注入系统包括联接到气体分配组件的气体源组件，其中蚀刻剂气体和前体气体在注入到反应室中之前组合。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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