北京
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来源：仪器信息网
国产高端量测装备再添关键利器，中科飞测近日正式发布首台电子束关键尺寸量测设备（CD-SEM）MAGNOLIAEBM-600。
高端电子束设备是决定芯片良率与性能的核心装备，长期依赖进口。此次发布的电子束关键尺寸量测设备主要面向1Xnm先进逻辑及存储芯片制造中的关键制程工艺，适用于光刻、刻蚀等核心环节的关键尺寸监控，在多项性能指标上已达到甚至超越国际同类水平，展现出显著的国产替代潜力。
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