命运节点 中国芯的接力
2000年这个点,说大不大,说小也不小,一边,上海医院里,老一代半导体人谢希德安静走完一生,
另一边,浦东机场里,一个中年男人推着行李车,后面跟着一大队工程师,有人说得很直,这一脚跨过来,是把中国芯片的命,往前推了一把。
谢希德五十多年前从麻省理工回国,身边人劝她留在那边,她没听,关在实验室里一待就是几十年,
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谢希德早年照
那年她走了,城里的路灯照着灵车缓慢经过,另外一头,张汝京落地,呼吸有点急,心里盘算的,其实就一句话,做家里自己的芯片厂。
站在今天往回看,会有种奇怪的感觉,像有人把接力棒放在这座城市手里,一个人退场,另一个人上场,没有仪式,只有脚步声。
世大起步 面对五十亿他转身去了上海
在跑来上海之前,他已经在芯片圈打滚了大半辈子,从工程师干到厂里高层,熬过了夜班,也开过董事会,
1998年,他拉了几个老同事,在台湾办了个新厂,起名世大,速度挺快,两年里,厂房从一栋变成两栋,产能顶到了台积电差不多三成。
速度高了,目光就都盯上来了,2000年,台积电抛出一个数字,五十亿美元,还是高倍溢价,股东心里很清楚,这数字够大,拿了钱,拿了股票,去海边买房,去国外陪孙子,这都是可以马上想象到的画面,挺安心的。
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张汝京 中芯国际创始人
就他卡住了,股东会里大家轮番做工作,他也听,点头,礼貌,回去自己还是睡不着,
他老是想起以前跟人说过的一句话,要到大陆去建第三家厂,这话说出去的时候没签合同,可他当了真。
后来他干脆不绕圈,台积电的股票一股没要,辞职,走人,很多人私底下说他拧,
他回家跟家里人讲清楚,又做了个更让人想不通的决定,带着九十岁的母亲,一起搬去上海,这老人家年轻时在重庆兵工厂干过,这回相当于又上了一回前线。
有朋友问他,你不怕亏吗,他想了半天,只说了一句,这事总得有个人去做一下,要不一直拖着,也不太对劲。
三百九十六天 厂子从黄土地里长出来
到了上海,迎上来的是江上舟,那会儿他管着杨浦那片地,人瘦瘦的,说话挺快,看完人,看完方案,他做了个不算小的决定,地我给你,税往下压,前五年不收,后面再说,孩子上学的地方一起建,幼儿园小学中学全包了。
那时候的张江,还真有点荒,车一开进去,两边不是楼,是一片片黄土,风一刮,裤腿上全是灰,
张汝京站在空地上,拿脚踢了踢地上的石头,心里盘算着厂房在哪边,宿舍放哪边,最后写下了四个字,中芯国际。
中间那个芯字,他特意换了写法,身边有人笑,说这不就是你心里那个中国芯吗,他也笑了下,没否认。
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中芯国际 张江 园区 早期 照片
接下来最难的是钱,还有设备,十亿美元这个数,写在纸上挺轻,真要一笔一笔凑,就全是汗,
他飞美国,飞欧洲,挨个见人,谈利谈风险,跑了一年,十亿美元总算到位,这个数字和当年国家做九零九工程一期那十二点五亿美元放一块看,一个民营团队自己凑的钱,已经几乎赶上了全国一起上的大项目,这强度,说实话挺少见。
技术那边也不省心,当时有那套出口限制在那挡着,很多关键设备,供应商是一口一个规矩,他就一条条问,一条条对,把项目定位把合规说明反反复复讲,最后总算拿下了零点一八微米到零点一三微米这一档的线。
2000年八月,第一根地桩打到地里,工地上全是安全帽的颜色,
三百九十六天之后,第一批芯片在干净的车间里出来,工程师端着晶圆站在那儿看了好一会,谁都没说话,心里那种感觉,很难用好听的词去形容,就是咬了这么久的牙,终于咬动了一点东西。
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张汝京 世大 半导体
三年间,厂从一座变成了六座,八寸线排着队上,十二寸线也点了火,中芯国际的名字被写进全球代工厂排名,排在第三,九十纳米的工艺跑起来,大陆这边的制程水平,被硬生生提前拉了差不多三十年。
高光压下去 风又从四面八方刮来
高光这玩意,有一点点讨巧,灯打得太亮,人眼睛会有点花,那几年外面看中芯,都是大厂,明星企业,里面的人心里都明白,风向也在悄悄变。
一头是政策压力,张汝京的台湾户籍被注销,人被通缉,出行变得特别麻烦,罚款通知一张张来,这些东西摊到纸面上,就是几行字,对当事人来说,挺沉的。
另一头,是老对手的动作,2003年,中芯准备在香港挂牌的前几天,材料就进了美国那边的法庭,
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理由写的是商业机密的问题,中芯这边只能一边安抚投资人,一边和律师团队连轴转,这种过程,说不上谁对谁错,反正很耗人。
第一次和解,中芯掏了一点七五亿美元,还签了技术托管,就是有一条线被对方握着,这种感觉,其实挺别扭,
2006年,第二次起诉又来了,这回条件更重,两亿美元现金,加上百分之十的股份,再加上一条,人要离开,三年内不能在类似的地方露头。
这对一个从打第一根桩开始的人来说,是个挺难吞的结果,离开的那天,厂里的路灯还亮着,他在园区里慢慢走,附近的树影拉得很长,员工远远看着,有点不知道要靠近还是站着。
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张汝京在中芯国际的采访
有人记得很清楚,他就说了一句话,三个字,别趴下,这三个字,比开两小时动员会还顶用,既像说给厂里听,也像说给整个行业听。
说完,他就真的走了,车子开出厂门时,有人偷偷抹眼睛,也有人在那一刻突然有一种说不出的空,觉得前面路好像一下子看不太清了。
中芯摇晃 行业也跟着低下头
张汝京走出厂门,中芯这条大船一时间也晃了起来,顶在前面的变成了江上舟,这个当年拍板给地给政策的人,那时候已经带着病,他一边做检查,一边还在会议室里拉着人谈,劝大家别散。
2011年,江上舟病逝的消息在公司里传开,很多人那天加班到很晚,心里说不上什么感觉,
不久之后,管理层里爆出两派的争斗,王宁国和杨士宁这两个名字,被反复提起,一百多名中高层在那几年陆续离开,技术骨干一批批走,眼看着队伍一天天变薄。
外部环境也不算好,金融危机把很多单子压下去,报表上的数字难看,前几年打官司留的窟窿还在,赔款像几块大石头压在账上,研发预算一缩再缩,和台积电比,只剩下对方的大概二十分之一。
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江上舟在海南年轻时的照片
那阵子,整个中国芯片圈也不太提得起劲,汉芯一号的造假被揭出来,新闻一条接一条,几个高调的国产处理器项目,前期喊得挺响,后面或者烂尾,或者悄悄没声了,还有一些地方的所谓芯片项目,地皮先热,厂房很久见不到人。
媒体的质疑多了,会议室里的叹气也多了,有些年轻工程师开始想着要不要换个行当,我听一个当事人说过,那几年最难的是,连自己都一度怀疑,这条路是不是走错了。
技术疯子进场 中芯爬过关键的那几级台阶
就在很多人心气往下掉的时候,梁孟松来了,这个名字在行业里,其实早就不陌生,他在台积电做过核心工艺,又在三星待了几年,对最前面那几代制程,熟到哪条线会在几度温度下出问题都能说出来。
2017年,他出现在中芯的大门口,有人以为这是个重金挖人的故事,合同摊开一看,年薪二十万美元,他自己全捐了,
他对外的说法很简单,就想给这边的高端集成电路出点力,听上去有点朴素,也有人觉得有点不现实,可他是真的这么干了。
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梁孟松,前台积电工程师、资深研发处长、现任中芯国际CEO
接下来的三年,中芯从二十八纳米往下爬到十四,再摸到了七纳米的门槛,一开始十四纳米线的良品率只有百分之三,很多片子一查就得报废,他带着团队一条条把参数往回调,做实验,记笔记,数字一点一点往上蹭,最后到了百分之九十五。
设备那边也在调节,深紫外光刻机一台台进厂,虽然不算顶配,但已经够把中高端芯片撑起来,
2020年,国家的大基金往中芯投了大概一百六十亿元,钱压得没那么紧了,2021年报表出来,营收增速接近四成,不少人看着那几行数字,心里那口气,总算松了一点。
有意思的是,在外界的眼里,这段时间里更多人重新提起了中芯这个名字,可在不少老员工心里,他们会同时想到另一个人,那个当年说别趴下的人,心里会冒出一句,原来他当时那句话,还真不是安慰。
老兵不退 从兵工厂到晶圆厂
三年竞业限制过去的时候,张汝京已经七十多岁了,说实话,以他的履历,找个地方安安静静养老,去公园遛弯,去国外看孩子,完全没问题
但他选了另外一条路,去了上海临港那片新区,在离海不远的地方,又办了一家新公司,新昇。
这次他没再做整条代工链,而是往前挪了一格,盯上了三百毫米大硅片,这东西平时看着就一片圆圆的片子,
可没有它,下面一大堆设备都转不起来,以前这一块基本全靠进口,一旦上游有个风声,下面的厂就得发愁。
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上海新昇半导体科技有限公司
新升用了三年,把三百毫米大硅片的规模化生产跑通,第一批片子出来的时候,他拿在手里看了很久,手还有点抖
他说了一句,总算不用老盯着进口的船期发愁了,这话听上去很轻,背后是多少次试验炸片烧炉子的代价,外人其实不太知道。
老同事那边的反应也挺有意思,有的人已经在别的公司做到很高的位置,收入也不错,
听说他在临港开新局,又拎着箱子跑回来了,很多人在白板前画来画去,争论怎么把设计制造封测绑得更紧,怎么让中国这条芯片链少走一点弯路,气氛不是那种豪言壮语,更多是琐碎但很认真。
拉远一点看,现在这一条链上,已经不是一两家公司单打独斗了,设计端有海思紫光展锐,制造端有中芯华虹,封测有长电科技在接货,
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设备那头有中微北方华创在抠刻蚀和薄膜,材料一侧有中环上海硅产业在磨硅片和靶材,上海微电子把二十八纳米浸润式光刻机做了出来,长春那边的团队在啃核心部件。
梁孟松那拨人,已经在琢磨五纳米制程怎么落地,数字听上去挺抽象,落在日常,就是电脑手机会更省电,更耐用一点,有工程师跟我说过一句挺有意思的话,现在这条路还不算亮堂,但至少夜里已经有几盏灯了,不再是伸手不见五指。
往前再翻一点,会发现这条线其实早就开始了,上世纪四十年代,重庆的兵工厂里,张汝京的父母就在轰鸣声里干活,给前线送武器,
那时候他们嘴边挂着的一句话,就是不能老指望别人来保护咱,这话后来被他记在心里,换了一个行业,又说了一遍。
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中国半导体之父”张汝京,加盟上海电力大学
现在再看七十多岁的张汝京,头衔一大堆,企业家也好,连续创业者也好,外人怎么叫都行,在我看来,更像一句话,一辈子只认准了一件事,哪怕路上被绊了好几跤,也没改方向。
芯片这个东西,本身没什么浪漫,就是一片一片的晶圆,一行一行的参数,一次一次的试验,
中国这条造芯的路,还长着,还会有新的坎,新的坑,但想到这几十年里,总有人在不同的地方,把自己的时间压在这件事上,心里就没那么慌,觉得再慢一点,也走得下去。
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