北京
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国家知识产权局信息显示，复旦大学;上海复矽源半导体科技有限公司申请一项名为“空间光谱辐照度一致性的测量设备、数据获取和确定方法”的专利，公开号CN121207327A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体设备检测领域，具体涉及空间光谱辐照度一致性的测量设备、数据获取和确定方法，设备包括：外部框架模块，外部框架模块的内部界定测试空间，外部框架模块上具有用于承载待测光源的支撑结构；测试模块，设置于测试空间内，包括：置物台；定位系统，包括水平平移机构和垂直升降机构；通过水平平移机构安装于置物台上的辐照度计探头和光谱仪积分球，辐照度计探头和光谱仪积分球通过定位系统在测试空间内移动；处理模块，电性连接于外部框架模块和测试模块。用于测量半导体用大功率微波紫外光源空间光谱辐照度一致性。解决了如何测量和评价微波紫外光源空间光谱辐照度一致性的问题。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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