北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“衬底搬运装置和末端执行器”的专利，公开号CN121215601A，申请日期为2025年6月。
专利摘要显示，一种适用于半导体制造工具的衬底搬运装置的末端执行器。末端执行器适于支撑衬底并且可连接到机器人臂。末端执行器包括：(a)具有顶表面和底表面的主体；以及(b)从主体的顶表面突出的至少一个支撑突起，用于接触并支撑衬底。支撑突起设置有类金刚石碳涂层。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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