北京
国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“用于半导体工艺设备的喷淋头和半导体工艺装备”的专利，公开号CN121023474A，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本申请提供了种用于半导体工艺设备的喷淋头和半导体工艺装备，涉及半导体技术领域，旨在改善工艺气体在腔室内壁沉积的问题。用于半导体工艺设备的喷淋头包括：喷淋头本体，喷淋头本体上设置有至少一个第一进气口和多个第一出气口，第一出气口用于输送吹扫气体；喷淋头本体上还设置有至少一个第二进气口和多个第二出气口，多个第二出气口与第二进气口连通，第二出气口用于输送工艺气体；多个第一出气口在参考面上的正投影沿晶圆在参考面上的正投影的周向设置，且位于晶圆在参考面上的正投影以外，参考面平行于晶圆。喷淋头可以经由第一出气口输送吹扫气体，且经过第二出气口输送工艺气体，有利于吹扫多余工艺气体，避免反应物在腔室内沉积。
天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本106584.4444万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息20条，专利信息166条，此外企业还拥有行政许可13个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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