北京
国家知识产权局信息显示，苏州矽行半导体技术有限公司申请一项名为“一种自冷却激光转折光机机构和激光维持光源”的专利，公开号CN121038223A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本发明提供了一种自冷却激光转折光机机构和激光维持光源，属于半导体设备用光源领域，自冷却激光转折光机机构包括激光转接头、激光光机镜座、激光镜组和激光转折冷却镜座；激光转接头、激光光机镜座和激光转折冷却镜座均自设冷却单元。激光维持光源，包括光源灯泡、引弧组件、激光光机模块、反光器、出光窗组、光陷阱组件、抽排转接座、红外温度检测组件、光源内压传感器、光源控制器和光源壳体。本申请的自冷却激光转折光机机构对激光提供液冷和气冷两种冷却模式，且对转折镜独立提供液冷，能够很好的控制机构的整体温度，保证了光源得到稳定波段的激光，便于在晶圆量检测、套刻对准量检测和光刻加工领域推广应用。
天眼查资料显示，苏州矽行半导体技术有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本12626.2625万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州矽行半导体技术有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息57条，此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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