国家知识产权局信息显示,镇江市德利克真空设备科技有限公司取得一项名为“一种磁控溅射用靶芯”的专利,授权公告号CN223592809U,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本实用新型公开一种磁控溅射用靶芯,包括壳体以及壳体两端的端盖;在壳体内部沿长度方向间隔设置有多个调节组件;壳体内部还设有磁条,且磁条与多个调节组件相连,在调节组件的作用下调整磁条的高度;壳体两侧对称设有冷却室,通过冷却室内循环流动的冷却水对该靶芯进行冷却;端盖与壳体之间设有密封法兰,用以阻隔冷却室内的冷却水进入。本实用新型的靶芯两端的端盖以及端盖内部用于密封的密封法兰均为可拆卸地连接,并且冷却室与密封法兰之间也为嵌合连接,打开任意一侧的端盖以及密封法兰即可拆卸靶芯中的磁条和磁靴进行维修保养,与传统的靶芯结构相比结构更为巧妙拆卸维修更为方便。
天眼查资料显示,镇江市德利克真空设备科技有限公司,成立于2010年,位于镇江市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2300万人民币。通过天眼查大数据分析,镇江市德利克真空设备科技有限公司参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息81条,此外企业还拥有行政许可17个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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