在半导体晶圆制造、湿法刻蚀、超纯水制备、PTFE滤膜生产、氟材料合成、生物制药除菌及细胞培养液过滤等高精尖工艺中,过滤系统是保障产品良率与安全性的核心环节,对材料的综合性能提出了极为严苛的融合性要求。
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首先,随着芯片制程持续向7nm、5nm及更先进节点演进,以及高端制药对杂质控制的极致追求,过滤元件的极薄厚度、超高平整度和超低化学溶出/金属离子析出已成为硬性标准。其次,在氟化工等强腐蚀性介质环境中,材料还必须兼备良好的机械强度与化学稳定性,以杜绝因材料降解导致的二次污染风险。这些跨行业的共性需求,共同指向了对下一代高性能过滤材料的迫切期待。
然而,传统PFA编织网却因自身瓶颈难以满足这些要求:其一,编织工艺将厚度限制在0.2mm以上,且交叉结构导致平整度差、有效面积小,影响过滤效率与寿命;其二,其在化学纯净度上同样面临挑战,金属离子析出控制及长期稳定性难以达到ppb级的严苛标准。这些痛点严重制约了终端产品性能的升级。
DEXMET超薄延展网的技术优势
0.1mm厚度
DEXMET采用精密延展工艺,可稳定生产厚度至0.1mm的PFA网材,远优于传统编织网的厚度极限,满足高端行业对薄型化的迫切需求。
无交叉点高平整性
延展网结构无丝线交叉,表面平整度显著提升。厚度均一,避免了因交叉点叠加导致的局部厚度过大,有效增加滤芯打褶面积,提高过滤效率。
金属离子析出率达标
DEXMET产品选用高纯度原材料,严格控制生产过程,确保金属离子析出率符合半导体级应用标准,为高端客户提供更安全的材料保障。
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客户测试反馈与应用前景
目前,DEXMET PFA延展网已在多家国内行业领军企业的实验室中完成多轮初步验证。测试数据一致证实,该材料在极薄厚度下的均匀性、机械强度及化学惰性均表现优异,完全满足高端工艺的苛刻要求。
DEXMET 0.1mm超薄PFA延展网凭借其极薄厚度、高平整性及金属离子析出可控等核心技术优势,精准解决了高端过滤行业的材料升级痛点。随着客户项目的推进,DEXMET有望成为国产高端过滤材料的新标杆,为半导体及相关行业提供更优质的解决方案。
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