北京
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金融界2025年8月23日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“用于处理衬底的方法和系统”的专利，公开号CN120527229A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本公开提供了一种用于处理衬底的方法和系统。所提供的用于处理衬底的方法包括：将衬底引入到第一腔室中；在第一腔室中对衬底执行第一等离子体处理；从第一腔室移除衬底；将衬底引入到第二腔室中；以及在第二腔室中对衬底执行第二等离子体处理。
本文源自：金融界
作者：情报员
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