北京
金融界2025年8月22日消息，国家知识产权局信息显示，常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司取得一项名为“一种CVD衬底托盘结构”的专利，授权公告号CN223255427U，申请日期为2024年08月。
专利摘要显示，本实用新型涉及CVD衬底托盘技术领域，且公开了一种CVD衬底托盘结构，加热环圈嵌合安装于安装底座与导热盘座之间，加热台座的下部与导热盘座对位嵌合，顶部挡片嵌合安装于安装托盘的上部，在安装托盘的上部设置有加热台座，加热台座与导热盘座均采用良性导热材质且通过对位嵌合结构安装连接，通过加热台座与导热盘座间的定点接触传导可将热量集中传导至晶片的上部，可实现对晶片的高效快速加热，并且顶部挡片通过槽口嵌合安装在安装托盘的上部，通过顶部挡片可对安装托盘上部的非镀膜区域进行遮挡防护避免安装托盘粘附污物，清洁时只需将顶部挡片拆卸取下即可完成托盘结构的清洁操作，相比于传统的一体式托盘结构具有更好的清洁便利性。
天眼查资料显示，常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司，成立于2019年，位于常州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息40条，此外企业还拥有行政许可5个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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