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金融界2025年7月23日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于载体的非接触式传输的装置和方法”的专利，公开号CN120359604A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本文提供一种用于载体的非接触式传输的装置。所述装置包括为基板载体或光罩载体的载体。所述装置包括线性磁阻马达，所述线性磁阻马达用于提供所述载体的非接触式悬浮和非接触式驱动两者。所述线性磁阻马达包括一个或多个线性定子，所述线性定子限定用于所述载体的传输轨道。所述线性磁阻马达包括被附接至所述载体的动子。所述线性磁阻马达包括一组电磁铁和第一磁性材料。所述一个或多个线性定子包括一组电磁铁而所述动子包括第一磁性材料，或者所述动子包括一组电磁铁而所述一个或多个线性定子包括第一磁性材料。所述装置包括连接到一组电磁铁的控制器。
本文源自：金融界
作者：情报员
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