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金融界2025年7月4日消息，国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“去除液态膜层中气泡的装置和方法”的专利，公开号CN120242544A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明公开了一种去除液态膜层中气泡的装置，包括：基座，用于放置涂布有液体膜层的基片。密封盖，设置在基座上方并在基座上方形成密封空间，基片位于密封空间中。密封盖中设置有冷却装置和抽真空装置。冷却装置用于降低密封空间的温度以使液体膜层速冻。抽真空装置用于在液体膜层速冻后对密封空间抽真空并实现将液体膜层中的气泡脱气去除。本发明还公开了一种去除液态膜层中气泡的方法。
天眼查资料显示，上海华力集成电路制造有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2077次，专利信息2303条，此外企业还拥有行政许可343个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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