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金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，南亚科技股份有限公司申请一项名为“晶圆运送装置检测系统及晶圆运送装置”的专利，公开号CN120237058A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，一种晶圆运送装置检测系统包含多个侦测器、填充装置、晶圆运送装置及控制中心。多个侦测器分别设置工艺的多个工艺设备之间。填充装置执行充填程序。晶圆运送装置包含本体及感测器。晶圆运送装置传输工艺的晶圆。感测器检测晶圆运送装置内部的气体浓度。若气体浓度高于预设气体浓度，感测器产生无线通信信号。控制中心耦接多个侦测器及填充装置。若多个侦测器收到无线通信信号时，则多个侦测器通知控制中心，使控制中心从工艺传输晶圆运送装置至填充装置。控制中心控制填充装置执行充填程序，调整气体浓度至目标气体浓度，并重新传回工艺。
本文源自：金融界
作者：情报员
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