北京
金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“温控介质窗及其形成、工作方法、等离子体刻蚀系统”的专利，公开号CN120221363A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，一种温控介质窗及其形成、工作方法、等离子体刻蚀系统，用于等离子体工艺装置，包括：第一介质窗；与所述第一介质窗层叠相接的第二介质窗，所述第一介质窗与第二介质窗之间具有加热装置；与所述第二介质窗层叠相接的第三介质窗，所述第二介质窗与第三介质窗之间具有冷却装置。所述加热装置位于第一介质窗和第二介质窗之间，所述冷却装置位于第二介质窗和第三介质窗之间，降低介质窗内各部分之间的温差，进而使得所述介质窗的受热以及冷却更加均匀，保证了介质窗使用的完整性以及安全性。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目232次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息430条，此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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