英特尔 18A 工艺节点技术细节：较 Intel 3 实现 30%以上密度提升

IT之家 6 月 22 日消息，英特尔在 2025 年超大规模集成电路技术与电路研讨会（Symposium on VLSI Technology and Circuits）上披露下一代 Intel 18A 工艺节点技术细节。

该节点将取代现有 Intel 3 节点，优化频率与电压调节能力，后续将应用于消费级处理器“Panther Lake”以及服务器处理器 Clearwater Forest（纯 E 核 Xeon）等产品。

据英特尔工程师介绍，采用 RibbonFET（全环绕栅极 GAA）与 PowerVia（背侧供电）技术的 Intel18A 制程相较 Intel 3 实现了 30% 以上密度提升与“全节点性能进步”，同时提供高性能（HP）、高密度（HD）库，兼具完整设计能力与易用性。

得益于 RibbonFET 技术，Intel 18A相较于使用 FinFET 的 Intel 3 实现大幅跨越。RibbonFET 主要优势在于：

• 优化栅极静电特性，单位面积有效宽度更大、寄生电容更低，设计灵活性进一步提升；
• 为 180H / 160H 库引入多种 Ribbon 宽度，通过 DTCO（设计工艺协同优化）平衡逻辑功耗 / 漏电与性能，为 SRAM 定制 Bitcell 优化的 Ribbon 宽度 —— 全面增强 18A 节点芯片性能与设计潜力。

另外，18A 采用了 PowerVia 技术，以背侧供电走线替代前侧走线，实现供电网络解耦与独立优化，从而实现多重增益：

• 逻辑密度提升
• 标准单元利用率改善
• 信号 RC 值降低
• 电压降（droop）收缩
• 设计灵活性进一步实现拓展

英特尔 18A 规格
HP / DR 库高度180/160nm接触式多晶硅栅极间距50mm金属零层（M0）间距32nmHCC / HDC SRAAM 面积0.023/0.021 μm²正面金属层数量10ML（低成本、高密度），14-16ML（高性能）
背面金属层数量3 ML + 3 ML

通过这些改进，Intel 18A 相比 Intel 3 实现了超过 15% 的单位功耗性能提升：

• 性能能效：1.1V 电压下，18A 同频性能较 Intel 3 提升约 25%；且支持 0.65V 以下低电压运行，同频功耗最多降 38%。
• 密度提升：18A 较 Intel 3 最高实现 39%（平均 30%）密度提升，背侧供电使单元利用率提 8-10%，单元利用率提高 8-10%，并将极端 IR 电压降收缩至原来的 10%。
• 参数对比：HP 库高度从 Intel 3 的 240nm 降至 180nm，HD 库从 210nm 降至 160nm；M0 / M2 金属层间距从 30/42nm 优化为 32/32nm。
• SRAM 缩放：18A 的高电流单元（HCC）密度较 Intel 3 提升 30%，HCC、HDC SRAM 面积分别达 0.0230μm²、0.0210μm²。

英特尔表示，18A 工艺将持续迭代：2026-2028 年将推出 18A-P 和 18A-PT 衍生版本（IT之家注：已于 2025 年 Direct Connect 大会公布），并开放客户基于这些节点实现芯片量产。