北京
金融界2025年6月21日消息，国家知识产权局信息显示，新毅东（北京）科技有限公司申请一项名为“准分子激光器供气系统检测方法、供气系统、光刻机光源及计算机程序产品”的专利，公开号CN120176022A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明提供一种准分子激光器供气系统检测方法、供气系统、光刻机光源及计算机程序产品，涉及光刻机领域。检测方法包括获取氟气检测仪输出的检测信号，并检测尾排组件是否处于运行状态；在确定尾排组件处于运行状态的情况下，等待预定时间；确定氟气检测仪是否再次输出检测信号。通过检测尾排组件是否处于运行状态，在确定尾排组件处于运行状态的情况下，等待预定时间，以便进入下一个的检测过程，避免了两次检测过程之间的间隔时间过短，提高了检测精度；通过在确定氟气检测仪没有再次输出检测信号的情况下，输出检修提示信息，确保密封腔内不会存在氟气，提高了供气系统的安全性，避免对操作人员的健康造成危害。
天眼查资料显示，新毅东（北京）科技有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3589.4516万人民币。通过天眼查大数据分析，新毅东（北京）科技有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目60次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息115条，此外企业还拥有行政许可7个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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