北京
金融界2025年6月20日消息，国家知识产权局信息显示，安徽华远装备科技有限公司取得一项名为“一种用于PECVD设备的气体匀热装置”的专利，授权公告号CN223003021U，申请日期为2024年07月。
专利摘要显示，本实用新型涉及PECVD设备技术领域，具体涉及一种用于PECVD设备的气体匀热装置，包括加热组件和气体引入组件，还包括气体匀流板和喷气嘴，所述加热组件为铠装加热器组件，气体匀流板安装在铠装加热器组件上且相互连通，气体引入组件安装在加热组件的加热板上，气体引入组件通过气体匀流板、加热组件与喷气嘴连通，喷气嘴安装在加热组件的加热板下部。本实用新型将加热器与气体匀流结构融合为一个模块，使其同时具备了加热和气体匀流功能，气体通过加热器上的导流结构均匀的从若干个喷淋口出来，且出来的气体已经被加热到一定的温度；而且提高了腔室内部空间利用率，一定程度上了简化了安装维护的工作量。
天眼查资料显示，安徽华远装备科技有限公司，成立于2021年，位于宣城市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2200万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽华远装备科技有限公司参与招投标项目17次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息43条，此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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