北京
金融界2025年5月23日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“一种安全互锁电路及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN222896667U，申请日期为2024年06月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种安全互锁电路及半导体工艺设备，安全互锁电路包括供气阀控制回路和供电控制回路；供气阀控制回路中，第一控制器件电连接于电源，第二控制器件电连接于电动控制阀以控制供气管路的通断；供电控制回路中，互锁输入端用于输入工艺压力信号，第一互锁输出端用于输出第一工艺信号以控制第一控制器件的开合，第三工艺输入端用于输入工艺压力信号，第一工艺输入端用于输入第一工艺信号，第一工艺输出端用于输出第二工艺信号以控制第二控制器件的开合。该半导体工艺设备包括该安全互锁电路。如此设置，可以双向安全互锁，从根源切断危险源，提升工艺气体互锁控制的可靠性。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1045次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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