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金融界2025年5月20日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“显微镜的带电粒子检测器”的专利，公开号CN120019466A，申请日期为2023年09月。
专利摘要显示，一种带电粒子评估系统，该带电粒子评估系统包括：带电粒子束装置，该带电粒子束装置被配置为将带电粒子束引导到样品上，使得次级粒子和反向散射粒子响应于带电粒子束而被生成；感测元件阵列，该感测元件阵列被配置为响应于来自样品的入射次级粒子或反向散射粒子而生成电信号；以及控制器，该控制器被配置为选择性激活该感测元件集的第一子集(333)，选择性去激活该感测元件集的第二子集(332)，并且将选定子集的电信号组合为检测器输出信号，其中选择性激活和选择性去激活基于次级粒子或反向散射粒子的预测分布。本申请还涉及包括指令集的非暂态计算机可读介质，该指令集能够由控制器的一个或多个处理器执行，以使得控制器控制带电粒子评估系统执行配置具有感测元件阵列的检测器的对应方法。
本文源自：金融界
作者：情报员
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