金融界2025年5月17日消息,国家知识产权局信息显示,珠海基石科技有限公司申请一项名为“抗反射组合物、抗反射膜、图案化方法、图案化基底、半导体器件及其制备方法”的专利,公开号CN119978922A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本申请实施例提供了抗反射组合物、抗反射膜、图案化方法、图案化基底、半导体器件及其制备方法。将该抗反射组合物形成的膜层应用在半导体器件的制程中,不仅可以有效减少感光材料膜下层的衬底等部件对光源的反射和衍射,还可进一步降低图案化膜的线宽粗糙度,改善图案化膜的白边现象。
天眼查资料显示,珠海基石科技有限公司,成立于2022年,位于珠海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本13479.76万人民币。通过天眼查大数据分析,珠海基石科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目11次,财产线索方面有商标信息17条,专利信息42条,此外企业还拥有行政许可27个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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