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金融界 2025 年 5 月 9 日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“在等离子体处理腔室中通过 VI 传感器和 RF 发生器的无线数据通信”的专利，公开号 CN119948611A，申请日期为 2023 年 8 月。
专利摘要显示，本文公开的实施例包括一种诊断基板。在一个实施例中，所述诊断基板包括：基板；以及传感器，所述传感器在所述基板上。在一个实施例中，所述诊断基板进一步包括：通信模块，所述通信模块在所述基板上，所述通信模块通信耦合至所述传感器。在一个实施例中，所述通信模块包括：输出天线；开关，所述开关耦合至所述输出天线；以及信号源，所述信号源耦合至所述开关。
本文源自：金融界
作者：情报员
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