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金融界2025年4月30日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“可调谐光学系统”的专利，公开号CN119895332A，申请日期为2023年9月。
专利摘要显示，描述了用于在衬底处提供可变光斑尺寸及可变焦点的系统和方法。可以将可变焦距透镜组添加到对准系统以允许调整光斑尺寸和焦点。可变焦距透镜是液体透镜，该液体透镜基于横跨透镜施加的电压是可调谐的。切换电压改变液体透镜中的水‑油界面，这又会改变光穿过的方向。例如，接通横跨透镜的电压将光输出方向移位到会聚在焦点处。结果，可变焦距透镜提供调整以补偿现有技术的固定光斑尺寸和焦点缺点。此外，还可以应用可变焦距透镜来补偿光斑移位和较高阶衍射阶。
本文源自：金融界
作者：情报员
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