劳模风采·广东省劳动模范｜黄有为：10年走完国外30年半导体设备研发路

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广东省劳动模范，中科飞测研发总监、首席科学家黄有为：10年走完国外30年半导体设备研发路

南方日报记者 许宁宁

“人生能做好一两件事就实属不易。”对于广东省劳动模范，深圳中科飞测科技股份有限公司（下称“中科飞测”）研发总监、首席科学家黄有为而言，他人生中必须做好的这件事就是在半导体设备国产化之路上的攻坚。

90—65nm、14nm、7nm……自2016年加入中科飞测、担任SPRUCE团队负责人以来，黄有为带领团队系统性地开展设备关键技术及整机攻关，不仅实现了国产无图形晶圆光学检测设备从无到有的突破，更“跳代”追赶，用十年走完了国外三十年的路。

跳代突围，填补空白

2016年，黄有为加入中科飞测，向着研发无图形晶圆表面缺陷检测设备的目标，从零开始组建团队。这种设备被称为半导体制造的“眼睛”，用于在芯片制造初期检测晶圆表面的杂质和缺陷，技术门槛极高，长期被国外巨头垄断。

那时黄有为的团队仅有10个人，面对国外30年的技术积累，怎么办？“那段时间实验室成了我们的家，团队两班倒，白天光学组调试设备，晚上软件组迭代代码，24小时连轴转。”

经过努力，黄有为带领团队研发出国内首台具有自主知识产权的检测设备，实现了国产无图形晶圆光学检测设备从无到有的突破，更让半导体消费市场留下了广东企业的坚实印记。

首战告捷后，黄有为及其团队却遇到了研发路上最难的抉择：是按部就班研发第二代设备，还是直接挑战第四代平台？若选择跳代研发，技术风险、供应链和资金压力都将成倍增加。

黄有为清楚，这是一场与时间的赛跑：“如果我们按部就班一代代研发，我们在研发第二代设备时，国外已经在做第四代、第五代。这样永远追不上国外，必须跳代！”

没有现成的零部件，黄有为和团队就自己设计；工艺不达标，他们便连夜改造生产线；有时为了调试一个参数，他们连续加班，眼睛经常熬得通红。

一次次失败，一次次重来，一次次改进。最终，黄有为及团队仅用了不到3年时间，就迎头赶上，实现了从90nm向14nm工艺节点的跨越式发展。

“十年磨一剑。如今，我们的技术从落后国外6代追到只差不到1代，产品覆盖国内超100家客户，市场份额跃居全球第二。”黄有为骄傲地说，面向7nm节点，当前SPRUCE团队取得关键核心技术突破性进展，并已实现小批量出货。

“让新人能踩着前人的肩膀向上攀登”

半导体检测设备涉及上万个精密部件的协同设计与优化，其复杂性和精度超乎想象，仅靠个人力量无法完成。“于是我们搭建师徒结对的培养体系，让每个新人都能踩着前人的肩膀向上攀登。”

2021年，清华大学的博士赵康俊刚加入团队时，黄有为和团队正被1个nm的精度超差死死卡住咽喉。“整个设备系统都做出来了，但是我们发现精度的最高值却就差那么一点点。”黄有为回忆，“尺寸每缩小1nm，光学信号强度就衰减一半，就像在黑暗中找一根头发丝。”

转机出现在一次午饭闲聊中，黄有为提到一个未被验证的思路。挑战面前，赵康俊主动请缨。这个年轻人眼中迸发的光芒，令黄有为至今难忘。

“我们像工匠打磨玉器般雕琢每个参数，经过上百次的试验迭代，终于突破10nm精度时，我们布满血丝的眼中，闪烁的不仅是成功的喜悦，更是对科研真谛的顿悟。”黄有为介绍，如今，赵康俊已成长为项目负责人。

“正是像他这样的年轻人不断加入，我们的队伍越来越壮大，战斗力也越来越强。”黄有为说。

这样的故事在团队中并不罕见。黄有为坚持“躬身入局”的培养方式：年轻研发人员从解决具体问题起步，逐步承担更大任务，两三年即可独当一面。“劳模精神不仅是对技术的钻研，更是一种传承。”黄有为感叹。

如今，团队已达百余人，不仅荣获深圳市工人先锋号称号，研发成果还获得深圳市技术发明一等奖，并助力中科飞测成为省制造业单项冠军企业。他们以理论为基、实践为刃，在南粤大地上诠释着知识型工匠的新内涵。

丁闯入职中科飞测4年了。他的印象中，黄有为最常鼓励他的一句话是：“要入主流、上大舞台、成大事业。”当前，科技研发工作者正面临着前所未有的机遇。这份“大事业”是勇于创新的勇气，也是科技报国的情怀。

接下来，黄有为将带着他的团队潜心研发暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备，该系列产品名为SyCAMORE（悬铃木），谐音是seek more（进无止境）。这也是黄有为长久的愿望：在把不可能变成一定能的路上，奋勇前行。

来源：南方日报