荷兰记者来到上海社区，揭秘光刻机巨头制造内幕

“伸出你的手并看向自己的指甲，倒数3、2、1，在这个瞬间，人的指甲生长的长度就是3纳米，肉眼根本无法识别，而这就是光刻机在芯片制造过程中的精度级别。”近日在徐汇区虹梅庭举办的《芯片制造：光刻巨头ASML传奇之路》新书分享会上，荷兰记者、半导体行业观察者马克·海金克用形象的方式让读者感知芯片的知识。

马克·海金克追踪荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）多年，在全球范围内对阿斯麦及其合作伙伴高管做了300余次深度采访。书中，他以调查记者的视角，串联重要人物和关键事件，首次披露阿斯麦四十年创立发展的崛起之路。《芯片制造：光刻巨头ASML传奇之路》于2023年10月在荷兰首版，登上荷兰亚马逊榜首，简体中文版由长江文艺出版社引进出版。

《芯片制造：光刻巨头ASML传奇之路》

马克·海金克向读者介绍光刻机在芯片制造过程中的核心作用，用深入浅出的语言讲述纳米尺度、摩尔定律、光刻机工作原理、光刻机的发展史等知识点。“我们可以把芯片工厂想象成面包店。在面包店里，烤箱是一个核心工具；而在芯片工厂，光刻机是核心工具。它就像一台巨大的复印机，以某种方式复制芯片设计，并将其印在硅晶圆上，这是通过光的技术来完成的。”

随着芯片制程不断缩小，光刻机需要使用波长更短的光源（如EUV，即极紫外光），从而实现更高的分辨率和更小的尺寸，这正是阿斯麦的光刻机能够实现的工艺。阿斯麦是全球唯一生产尖端光刻机的企业，每台高达4亿美元的造价让其成为世界上最复杂且最昂贵的机器之一。

阿斯麦上世纪80年代诞生于荷兰的一个小镇，40年前，这家毫不起眼的初创公司似乎随时都可能失败，但如今，全球约90%的芯片都是通过阿斯麦的系统制造出来的。马克·海克金分享了自己采访阿斯麦高管、深入阿斯麦工厂内部时令人惊叹的见闻，阿斯麦的管理模式、企业文化、工程师解决技术难题时的“蜂巢思维”，都有独特的风格。“除了阿斯麦，我还曾到深圳、苏州探访中国高科技企业。中国的科技发展以一种难以预测、但极具创造力的方式进行着创新，令我印象深刻。”马克·海金克说。

马克·海金克与上海读者

原标题：《荷兰记者来到上海社区，揭秘光刻机巨头制造内幕》

图片来源：主办方提供

来源：作者：解放日报 施晨露