金融界 2025 年 3 月 28 日消息,国家知识产权局信息显示,FEI 公司申请一项名为“消隐器增强的莫尔成像”的专利,公开号 CN 119687840 A,申请日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显示,在一些实施方案中,一种科学仪器包括电子束柱,该电子束柱被配置为跨样本扫描电子束。电子束柱包括射束消隐器,该射束消隐器被配置为响应于驱动信号而选通电子束。该科学仪器还包括电子检测器和电子控制器,该电子检测器被配置为测量已经与样本相互作用的透射或散射电子的通量,该电子控制器被配置为针对多个电子束扫描位置使用利用电子检测器测量的通量的值来采集样本的图像。电子控制器还被配置为致使驱动信号具有使图像在其中具有莫尔纹图案的选通频率。
本文源自:金融界
作者:情报员
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