北京
金融界 2025 年 1 月 18 日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“静电卡盘的测温装置”的专利，公开号 CN 119314932 A，申请日期为 2023 年 7 月。
专利摘要显示，本发明提供一种静电卡盘的测温装置，静电卡盘包括第一电极和第二电极，测温装置包括多个吸附部件和多个测温部件，多个吸附部件用于间隔放置在静电卡盘的用于吸附晶圆的表面上，且至少一个吸附部件与第一电极对应放置，至少另一个吸附部件与第二电极对应放置，且多个吸附部件中至少分别与第一电极和第二电极对应放置的两个吸附部件电连接，多个吸附部件能够在第一电极和第二电极分别加载正负吸附电压时吸附在静电卡盘上；多个测温部件与多个吸附部件一一对应设置，用于对静电卡盘的多个位置进行测温。本发明提供的静电卡盘的测温装置能够准确、无损、灵活且便捷的对静电卡盘表面的温度均布差异进行检测。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目992次，知识产权方面有商标信息31条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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