金融界2024年12月19日消息,国家知识产权局信息显示,广东中图半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种剥离用图形化复合衬底及其制备方法和应用”的专利,公开号 CN 119133333 A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本发明提供一种剥离用图形化复合衬底及其制备方法和应用。所述图形化复合衬底包括蓝宝石衬底,以及设置在所述蓝宝石衬底一侧表面的多个异质凸起结构;所述多个异质凸起结构构成周期性图形阵列,所述周期性图形阵列的图形单元为类六棱锥型结构,所述图形单元的俯视图为正六边形;所述周期性图形阵列中图形单元以角对角的形式连接,其中图形单元以角对角的形式直线连接的方向记为第一方向,图形单元以中轴线的形式直线连接的方向记为第二方向;在所述第一方向上,相邻所述图形单元的底部一体化相连;在所述第二方向上,相邻所述图形单元之间存在间隙,露出所述蓝宝石衬底的C面。本发明提供的图形化复合衬底降低了剥离成本,提高了剥离效率。
本文源自:金融界
作者:情报员
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