金融界2024年10月21日消息,国家知识产权局信息显示,歌尔微电子股份有限公司申请一项名为“压力传感器、封装方法及电子设备”的专利,公开号CN 118758483 A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本申请实施例提供了一种压力传感器、封装方法及电子设备。所述压力传感器包括顶盖基底和固定梳齿,所述基底包括振膜,所述振膜通过外延部与所述顶盖连接,并且所述振膜与所述顶盖之间形成有压力腔;所述固定梳齿设置于所述压力腔;其中,所述基底还包括背腔,所述背腔设置于所述振膜背离所述顶盖的一侧,并且所述振膜朝向所述顶盖的一侧设置有第一凹槽,所述固定梳齿设置于所述第一凹槽;本申请通过背腔进气推动振膜运动,使得固定梳齿相对于第一凹槽的正对面积能够发生变化,以此有效地提高了压力传感器的使用性能。
本文源自:金融界
作者:情报员
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