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金融界2024年9月30日消息，国家知识产权局信息显示，华芯拓远（天津）科技有限公司申请一项名为“品质因数Q值自补偿型MEMS加速度计及其补偿调节方法”的专利，公开号CN 118707136 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明公开了品质因数Q值自补偿型MEMS加速度计及其补偿调节方法，该加速度计用于检测导航设备的加速度，该加速度计由衬底层和器件层构成；所述器件层包括：隔振组合梁结构、至少两个可动质量块、正负检测电级单元和至少两组阻尼调节单元；该方法适用于上述的品质因数Q值自补偿型MEMS加速度计；本发明通过创造性的在MEMS加速度计敏感单元中设计阻尼调节单元，使其可以根据工艺实际键合真空度的大小或分散偏差，去调节阻尼调节模块梳齿的间隙，从而调整MEMS加速度计敏感单元内部结构阻尼大小，使器件整体的等效Q值不因工艺键合的技术缺陷而发生改变，以达到补偿工艺缺陷，保证器件设计指标之目的，进而提高MEMS加速度计在高精度领域的应用。
本文源自：金融界
作者：情报员
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