北京
芯片作为电子产品核心部件，随着电子产品的应用越来越广泛，芯片的需求量在不断增长。但芯片生产过程中会产生多种废气，这些废气的主要来源包括化学清洗、光刻、蚀刻、沉积和掺杂等工艺环节。废气成分复杂。为了满足国家排放标准，芯片生产废气需要采取有效的处理方法。
近日，可迪尔项目一线传来捷报，我们又一芯片生产废气处理项目完成验收，一起来看！
芯片生产废气处理方法概述
芯片生产废气处理项目地点：江苏省江阴市
芯片生产废气处理项目名称：江苏某芯片生产废气处理方法
芯片生产废气处理项目背景
业主是江苏省一家从事芯片研发、生产、销售和服务的企业，目前拥有一条5英寸与6英寸芯片生产线。在芯片生产过程中车间产生大风量低浓度有机废气，风量为40000m³/h，浓度为200mg/m³，主要成分是异丙醇、丙酮、混合二甲苯。
芯片生产废气处理方法
治理工艺：前处理+沸石转轮+RTO
浓缩倍数：20倍
芯片生产废气处理方法工艺路线
芯片生产废气经主工艺风机进入前处理，去除酸性气体、大颗粒物及对沸石转轮有害物质，预处理之后的芯片生产废气随后输送至转轮吸附浓缩装置，芯片废气中的VOCs成分被沸石吸收后达标排放。沸石转轮吸附的VOCs物质经高温脱附进入三塔RTO，高浓度废气在RTO中被加热至800℃以上，燃烧成为二氧化碳和水，排放至大气。
经芯片生产废气处理方法后的挥发性有机物排放浓度低于20mg/m³，目前已顺利投产，并稳定运行。芯片生产废气验收标志着可迪尔在芯片生产废气处理领域的专业技术实力再获认可，实现了企业环境保护和经济发展的双赢，让我们一起走进现场为芯片生产废气处理项目喝彩！
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