山东
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7月3日-5日，2024国际显示技术及应用创新展在上海举行，即将在我市投产的新产品——半导体晶圆输送机器人亮相展会。
晶圆输送机器人的定位传输精度，直接决定着晶圆传输设备整机系统的传输精度。由于零部件构造复杂、精度要求严苛等问题，这一技术一直是半导体制造装备领域的一大难点，长期被国外垄断。山东现代庆炀智能装备有限公司（文内简称现代庆炀）研发团队历经多年研发，成功研制出半导体晶圆输送机器人和晶圆自动上下料机器人。这一系列产品能够实现晶圆高效、稳定运输，为晶圆自动化搬运保驾护航，助力我国半导体制造装备行业发展。展会上，现代庆炀还与成都环龙智能机器人有限公司等4家企业进行了现场签约，双方将在半导体晶圆输送机器人及其他领域开展深度合作。记者了解到，另外还有十余家未到场企业有合作意向。不久的将来，这一产品将落地临淄智能机器人产业基地，进一步延伸我市机器人产业链，推动我市机器人产业生态更加丰富。（淄博日报/淄博晚报/博览新闻 记者胡明 赵培珊）
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