山西
3月7日，天气乍暖还寒。傅山故里，中北大学东侧，柏板路西侧的一处工地里已是人员往来、机械穿梭。这里是半导体材料专业镇的重点项目——上兰新材料园区标准化厂房及配套设施项目工地。
走进工地，恰巧遇到甲方、乙方——中北高新投资发展有限公司、山西省城市群投资建设集团公司负责人在进行项目复工复产前的安全检查。山西城投公司项目生产经理徐学勤说，中北高新区上兰新材料园区标准化厂房及配套基础设施项目总建筑面积超过20万平方米，投资额超过8亿元。工程自2023年5月初开工以来，施工方全力以赴推进项目建设，确保工程按期竣工。
和以往的标准化厂房施工不同，半导体材料生产厂房有着更高的要求和标准。徐学勤边走边介绍。他说，由于硅晶圆（硅片）需要连续生产，厂房的长度和跨度都比较大。“你看这是2号厂房，长度是240多米，跨度是102米，三层楼板的建筑面积有8万多平方米。” 徐学勤指着对面的1号厂房说，“1号厂房相对较小，但也是个长200多米、宽70多米的大车间，总面积有6万多平方米。”
半导体材料厂房不仅外观看起来“高大上”，里面也是大有乾坤。跟随徐学勤登上2号厂房二层，他指着天花板上的众多正方形方框说，硅晶圆的制造非常讲究，环境的干净程度对硅晶圆的质量有着非常大的影响。机械和氧化物等杂质都会对硅晶圆的光电性能产生不良影响，因此硅晶圆的生产需要在超洁净环境中进行。在洁净厂房里面，可以通过循环过滤处理空气，降低机械颗粒污染等方式减少环境中杂质，从而制造出高质量的硅晶圆。
“你看，这些方框中间还有一个圆孔，将来要安装空气净化装置。像这样的方框，二层天花板上共有1.5万多个。”徐学勤说，硅晶圆生产不光对空气洁净度有要求，对建筑物的平稳性也有超乎想象的高标准。他说，一般的多层厂房地基不超过10米，而为了保证硅晶圆生产中的平稳要求，1号、2号厂房的地基打桩深度接近37米，比厂房高度还高。
目前，上兰新材料园区标准化厂房项目1号、2号厂房以及动力车间主体建筑已经完工，整个项目土建工程进度达到95%。中北高新投资发展有限公司工程管理部部长王飞说，中北高新区半导体材料专业镇是我市5个重点培育的市级专业镇之一。半导体材料专业镇以上兰片区为承载，依托源瀚科技、沪硅、天成半导体、晋西春雷等企业，精耕细作子产业链，形成全省战略性新兴产业集聚区。该区于2020年引进战略性基础材料产业园蓝宝石晶体生长及加工项目，主要生产蓝宝石晶体材料，该项目一期于2021年7月正式投产运行。2022年确定引进新材料项目，生产直径300毫米硅晶圆。今后，中北高新区将逐渐形成以上兰片区为核心，以基础区为突破口的半导体材料产业集群。
“标准化厂房计划在今年7月底竣工交付沪硅。目前，沪硅的部分生产设备已经运抵工地，可与标准化厂房内部管线安装同步进行。”王飞说，上兰新材料园区投资近百亿元，如此大体量的项目落地中北高新区，对发展壮大半导体材料专业镇具有重大带动作用。“沪硅不仅是个重大投资项目，同时也是链主企业。项目将带动相关半导体产业链、供应链企业在中北高新区落户，尽快形成半导体产业链条。”王飞介绍，300毫米硅晶圆主要应用在智能手机、计算机、云计算、人工智能、SSD（固态存储硬盘）等较为高端领域，达产达效后年产值近百亿元。
为尽快推动上兰新材料园区建成，中北高新区采用承诺制和全代建制，每天在工地召开调度会，每周在管委会举行协调会。由于项目符合国家战略需要及国际市场需求大，中北高新区和尖草坪区“打包”做好包括投资补助、供电保障、贷款奖补、研发奖励、项目配套、审批及规划建设保障、土地及厂房配套规划、人才政策配套等事项。比如优先为项目公司员工提供落户、优惠住房、员工宿舍、子女入学、医疗等配套服务，积极争取可享受的省、市、区相关人才帮扶政策。“原来招商是平整土地后交由客商自行建设厂房，现在我们是全代建模式，筑好鸟巢待凤凰，提前建好‘精装房’，尽最大能力服务企业，实现企业‘拎包入住’。”王飞说。记者 司 勇
来源：太原日报
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