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伺服减速机是伺服减速机齿轮传动装置重量，一般情况下机电齿轮重量与其材料和热处理工艺有很大的关系。如在同样的功率下，渗碳淬火齿轮重量将是调质齿轮重量的1/3左右。因此对于行星齿轮减速机的结构特点和齿轮的载荷性质，应当广泛采用硬齿面齿轮。
获得硬齿面齿轮的热处理方法很多，如表面淬火，整体淬火、渗碳淬火、渗氮等，应根据行星齿轮减速机的特点考虑选定。
结构比较紧凑，回程间隙小、精度较高，使用寿命很长，额定输出扭矩可以做的很大。但价格略贵。
行星减速器一般用在有限的环境里需要较高的转矩时，即小体积大转矩，所以它的稳定性和寿命都比正齿轮减速器要好。正齿轮减速器则用于相对较低的电流消耗，低噪音和高效率低成本应用。行星减速机最大的特点就是体积小，输出扭矩大，传动效率高，只要是有这些要求的地方都可以使用。
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