洁净室(俗称净化车间)是空气悬浮粒子浓度受控的房间,其建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子,并且洁净室内其他有关参数温度、湿度、压力等按照要求进行控制。洁净室以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分洁净程度。半导体也属于精密生产,需要洁净度高的生产车间,才能保证半导体的质量。那么百级半导体洁净室的维护保养与管理案例是怎样的呢?随合洁电子净化工程公司一起来了解下吧!
只有加强对百级半导体洁净室的维护和管理,才能保证其环境和功能良好运行。我们主要从环境监控的管理、运行管理及人员的管理三方面进行控制管理,才能使百级半导体洁净室使用更加合理、规范,确保了检测质量。
一、 环境监控的管理
百级半导体洁净室的“无菌”环境主要是通过空气的“过滤”、“层流”以及室内维持“正压”状态来维持的。环境的控制管理至关重要,主要从以下方面。
(1)控制半导体洁净室空气的温湿度 室内温度控制在22℃~25℃,湿度控制在50%~60%较为合适,不仅满足人体舒适度且又不利于室内微生物的生存。
(2)强化卫生清洁管理,半导体洁净间的壁柜表面及地面应每天用消毒液各擦拭1次。每周进行彻底清扫1次,每月再进行卫生大扫1次,使用的清洁工具不宜用掉纤维的织物材料制作。对空气灰尘粒子数、噪音、温湿度进行检测1次。中效、高效过滤网的更换根据空气尘埃粒子计数器测试结果,根据使用情况监测结果,一般每1-2年更换1次。每次操作完后用紫外线照射消毒30min。
二、运行管理
(1)正确使用洁净室
半导体洁净室物品摆放合理,利于操作,并尽可能减少物品材料,控制物品出入次数。
(2)设置严格的工作流程
半导体洁净室有必要制定严格工作流程,明确区分洁污区域。
(3)控制清洁质量
半导体洁净室净化空调系统初次使用必须连续运行24h,空气洁净度合格方可使用。每次进入前30min打开洁净空调系统,使空调系统连续运行,尽量排尽污染的尘粒,保证空气质量。定期专人检测空调系统运行情况,做好维护保养工作。每日操作前后用1∶100的84消毒液去除门、窗、地面等灰尘。每周应扫除1次,包括天花板、墙壁和地板,尤其是抽风,回风口很易藏尘、藏菌要拆洗清洁定期检查更换,以防受到污染。初效、中效过滤器每6个月更换1次,高效过滤器1~2年更换1次。回风口每周清洁1次,以确保尘埃过滤效果。
(4)设备维护
为了保证室间的恒温恒湿,空调根据实际情况提前30min打开。专人定期负责检查控制板上空调显示情况,负责净化空调系统的保养。技术夹层每三个月拭擦1次,出风口1次,防止其本身受到污染。
三、人员管理
(1)严格控制人员进出。尽可能减少人员进出次数。
(2)严格着装管理要求。进入洁净室更换无菌服,佩戴鞋帽,严格洗手消毒。
(3)加强人员培训,积极进行理论学习,明确层流百级半导体洁净室工作原理和环境要求,熟悉基本知识和操作要求的培训。严格规范人员行为和各项操作规章制度。
百级半导体洁净室采用空气净化措施是将空气中的尘埃离子过滤、消毒,使细菌无载体传播。空气净化取决于全过程、全方位的控制管理。加强对半导体洁净室的使用管理,使其保持良好的环境和功能,强化无菌观念和正规化管理是根本的保证与要求。
以上就是本篇文章全部讲解,想必您读到这里,一定对百级半导体洁净室的维护保养与管理案例有了一定的认识,希望对您有所帮助。
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