高效可靠的“利刃” - 开拓半导体创新及良率提升的“芯”征途

随着国内新能源汽车及显示行业的自主研发不断蓬勃发展，良率控制及新产品开发的需求日趋渐长。TEM可以在原子尺度对器件进行观察和检测，在过程控制和新品研发中起着至关重要的作用。

前沿芯片制造：TEM工具越来越重要

制造具有统一尺寸的纳米结构和架构对于开发功能性半导体器件是非常理想的。随着这些器件缩小，需要使用新型材料制造新设计和更复杂的结构，以应对相应的挑战。为此，必须使用高灵敏度和先进的分析工具来检测在这些更先进结构中可能影响良率或性能的极轻微电气问题。

透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)可以为器件关键尺寸管控及失效分析提供原子级别的微观细节及高效数据采集。

新型半导体器件制造需要高准确度成像和故障分析，以产生改进和优化的制造工作流程。这些复杂的分析流程通常要求所使用的TEM产品具备高效率的自动化功能，极易使用的用户界面，极低的图像失真率，以及其他快速的表征能力，例如高速EDS能谱采集。这些都推动TEM成为半导体器件研发，良率提升，以及失效分析阶段必不可少的工具之一。

TEM：助力化合物半导体、显示领域良率提升

6月9日14:00-15:00，赛默飞联合芯榜共同为大家带来一场深度的线上分享——追本溯源 -- TEM如何助力化合物半导体及显示技术的良率提升及研发，欢迎工程师同学们注册观看：

本报告讲着重介绍TEM的基本原理，并结合实际案例展示透射电子显微镜如何在化合物半导体（SiC/GaN/InGaAs）及显示领域（OLED, MicroLED etc.）助力客户提高良率、改进性能。

直播时间：2022年 6月 9日 14:00-15:00

主讲嘉宾

曹潇潇

赛默飞世尔科技PFA高级业务拓展经理

曹潇潇，赛默飞世尔公司MSD半导体事业部资深业务拓展经理。2007年毕业于合肥工业大学材料学院，获得学士学位；2007-2010年在上海大学，师从我国著名的电子显微学家周邦新院士，获得硕士学位。曹潇潇具有14年电子显微镜行业工作经验。作为主要负责人，参与了中国首台镜筒内置能量过滤透射电子显微镜、三维原子探针3DAP、X射线显微镜等先进设备的部署和应用开发工作。目前致力于先进电子显微技术在半导体芯片研发及良率提升阶段的推广。

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