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对标ASML!光刻机核心器件,中国破冰双工件台,理想芯制程达7nm

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在硅芯片的表面印制“设计图”是芯片制造的必要前提。在芯片的制造过程中,芯片代工厂商往往都会根据客户提交的设计图,来对芯片进行代工生产。因此,比起离子注入机、刻蚀机、晶圆减薄机等芯片制成设备;负责对芯片进行曝光、印章的光刻机是芯片制程的核心器械。

我是柏柏说科技,90后科技爱好者。今天带大家了解的是:击碎荷兰ASML公司技术垄断,光刻机核心部件,北京华卓精科与清华团队携手推出的双工件台

老规矩,开门见山,直进主题。光刻机有三大核心部件,EUV光源、双工件台、光学镜头。其中技术壁垒最高、制成难度最大的是双工件台。在北京华卓精科携手清华团队成功打破双工件台技术壁垒之前,光刻机的双工件台技术被荷兰的ASML公司一手垄断。

截至目前,掌握EUV光刻机双工件台技术的厂商只有两家,一家是ASML公司,另一家是我国北京的华卓精科。值得一提的是:北京华卓精科与清华团队推出的双工件台,实现了技术、双工件台零部件的完全自主化生产。而且在技术水准、芯片制程高度上,华卓精科的双工件台与ASML公司的双工件台基本上位于同一水准。当然,这并不是空穴来风。

被国人熟知的上海微电子与它的28纳米浸入式光刻机,采用的工件台正是华卓精科的双工件台。该工件台最高精度可达1.7纳米适用于65纳米以下的芯片制程,高速运作下理念可行的芯片制程水准达2纳米。

在这里补充一点:生产2纳米芯片的前提,是建立在光刻机的EUV光源、镜头等其它零部件同样出色的条件下。也就是说,单靠华卓精科的双工件台,无法达到2纳米芯片的制程

目前我国芯片制程领域的最高水准已经达到了28纳米。这里说的28纳米指的是:从单晶硅到晶圆、再到光刻机、刻蚀机整条生产线,我国全部完成了28纳米芯片的自主化生产。

此外,由于上海微电子推出的28纳米光刻机是浸入式光刻机,因此可以通过水的多次折射缩短光波,实现更高精度的芯片投射,结合华卓精科的双工件台,我们可以靠自己的技术实现7纳米芯片的自主化生产前提是不计较时间、劳动、能源成本

不少朋友都会关注一个问题:我们在半导体领域中,特别是光刻机方面,能否与西方国家处在同一条水平线上呢?答:短时间不能,长时间可以。原因很简单:“钱”。大伙继续往下看。

不同于刻蚀机、离子注入机、单晶炉等芯片制成设备,光刻机制造十分复杂。拿当下荷兰ASML公司最先进的EUV光刻机举例;EUV光刻机是由10万多个零部件共同制成的。这些零部件的背后,往往包含着多个国家五、六年、甚至十几年的技术积累。

即便是目前唯一能够生产EUV光刻机的ASML公司,也离不开其他国家的技术支持。虽说我们在光刻机领域中接连破冰光刻机核心器件,但这些器件仍旧存在着技术不成熟、设备未知因素多、投产难度大的问题。

特别是设备投产方面,不同于其它行业的小打小闹,芯片生产设备价格昂贵。早先“造”不如“买”错误观念的盛行,让我国许多半导体厂商因长期使用国外生产设备,生产链基本上已经固定成型。这也导致了国产半导体厂商在生产链调整方面变得“心有余而力不足”。

考虑到企业运转、资金运营,我国的半导体厂商很难使用国产设备代替外国设备。即便是想,也会因为资金不够而打消念头。毕竟像华为这样“先占领技术制高点,再考虑营收”的企业少之又少。

使用方更换设备的难度大,作为开发者的一方也会因缺少资金,导致研发压力增加。抛去研发成本不谈,我国的研发厂商如何在准入门槛高、僧多粥少的半导体市场中,形成自己的竞争优势,也是一个比较棘手的问题。

早先是有所选择,现在是无法选择。伴随着美国对我国半导体行业的新一轮打压,让我们深刻地意识到一个道理:只有掌握核心技术,才能够在半导体领域中掌握自主权。尽管我们在半导体核心技术实现蜕变的道路上,会走的很累、走的很疼。但我们想要在半导体领域中掌握更多的自主权,将半导体事业做大做强,就必须拥有自己的核心技术。

楚虽三户能亡秦,三千越甲可吞吴,已有我堂堂中华空无人!逢敌必亮剑,祝愿国产半导体能够愈发强大,将美芯半导体刺向我们的这一剑,还回去!

对于北京华卓精科推出的双工件台,大伙有什么想说的吗?眼下,硅基芯片可容纳晶体管数量即将到达顶点,你认为我们能否借此机会,在半导体领域中打一个漂亮的“翻身仗”呢?欢迎在下方留言评论。我是柏柏说科技,90后科技爱好者。关注我,带你了解更多资讯,学习更多知识。

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