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中芯国际斥资7.6亿人民币从ASML购买EUV极紫外光刻机，未来可用于生产7nm技术芯片。同样是ASML，长江存储近日也迎来了自己的首台光刻机，193nm浸没式，20～14nm技术用于3D NAND闪存晶体，售价4.5亿人民币。
5月21日上午，在上海浦东新区康桥工业园南区，华力（华虹旗下）进行了自己第一台工艺设备光刻机的搬运。
光刻机（NXT 1980 0DI）仍然由荷兰ASML提供，193nm的双浸入式光刻技术，用于10nm（14～20nm）晶圆的生产，也是国内最先进的浸没式光刻设备。
数据显示，这是该公司的第二条12英寸晶圆生产线，预计每月产能4万片，工艺技术从28纳米开始，最终将具有高性能的14纳米生产能力。
华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目，总投资387亿元人民币，项目计划于2022年底建成投产，主要从事芯片生产，重点服务国内设计企业先进芯片的制造，并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。
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