上海首届检验检测行业创新赛传来好消息：一项技术填补探月工程关键技术空白

记者今天（9日）从上海建科集团获悉，在由其参与承办的首届上海市检验检测行业创新大赛上，有20件创新作品在历时5个月的激烈角逐中脱颖而出，其中一项创新作品填补探月工程关键技术空白。

随着我国探月工程的推进，未来月球探测器将到达月球极区，极限温度在零下130℃至零下225℃。不过技术难点在于，探测器的移动部件在月球极区极端低温下容易出现机械卡死，导致探测器彻底报废。目前，国内外尚无能够满足月球极区极端低温环境的检测系统，自主研发成了唯一途径。

上海航天设备制造总厂有限公司迅速成立研发团队，仅用半年时间研制出国内首套月面极区环境模拟试验检测系统。这套系统具备高真空、深冷、高温连续交变功能，且搭载双驱动双加载高精度运动测试装置，整套系统填补了我国探月工程月面环模检测领域的空白，目前已成功应用于探测器移动装置的月面环模检测，助力我国深空探测环模检测任务开展。

探月工程检验检测技术的突破，是上海检验检测行业创新水平的一个缩影。虽然检验检测行业听起来，专业又陌生，但是它和人们熟知的“高精尖”产业紧密相关。检验检测贯穿于研发设计、中试验证、生产制造、售后服务等产业链供应链全过程，或能助力技术进步，或能降低经营成本，或能促进产业链供应链畅通高效。

随着行业规模持续扩大，上海检验检测行业自主创新能力不断提升。截至2023年底，上海1340家检验检测机构中，有326家通过高新技术企业认定，实验设备原值超300亿元，研发投入逐年递增，拥有专利超万件。

举办首届上海市检验检测行业创新大赛，则是为了加快培育新质生产力、构建现代化产业体系。记者在比赛现场中获悉，这次大赛共有来自第三方检验检测机构、高校科研院所、企业实验室、仪器设备研发制造企业、实验室装备企业等168家单位踊跃参与，报送创新作品共计216项。作品内容覆盖集成电路、生物医药、人工智能三大先导产业和电子信息、汽车、高端装备等重点产业，涌现出一批首创性、突破性、引领性的检验检测新技术、新方法、新装备。其中，产生一等奖作品1项、二等奖作品3项、三等奖作品6项和10项优胜奖作品。

有的作品探索前沿，突破卡脖子技术。集成电路是在晶圆上采用先进工艺制造而成，整个制造过程在纳米尺寸间完成，晶圆盒是确保晶圆在运输和储存环节免受环境污染的重要装置。“微乎其微”的一点污染就会导致芯片良品率下降。所以控制晶圆盒内污染的迁移至关重要。

来自上海市计量测试技术研究院的参赛选手李春华说，根据晶圆盒生产工艺流程，上海市计量测试技术研究院明确了杂质的4种来源以及24种关键杂质，研发出全自动晶圆盒杂质提取装置和编写了提取的标准作业程序，开发了电感耦合等离子体技术检测阳离子杂质和在线浓缩离子色谱技术检测阴离子杂质的方法，检出能力达到0.1µg/㎡（即，微克/平方米）和10.0µg/㎡。结合国际和国内产业的技术要求，在超过100批次的数据基础上确立了满足12英寸晶圆盒的限度指标。该研究突破了晶圆盒检测技术难题，为国产晶圆盒生产工艺优化指明了方向，助力国产芯片自主可控。

有的作品服务民生，解决行业痛点。装配整体式混凝土结构，容易出现套筒灌浆不饱满，导致混凝土结构质量问题，但业内又普遍缺乏检测手段。

来自上海市建科院的团队经过研制，在国内外率先攻克钢筋套筒灌浆连接检测的公认技术难题，研发出四种适用于不同阶段的套筒灌浆质量检测方法，灌浆缺陷可感知、可识别、可量化、可透视。团队主编的全国首部套筒灌浆连接检测专项技术标准，被行业标准和其他多个省份地标广泛引用。目前，检测技术已在上海、北京、江苏等全国300余个实际工程项目中成功应用，套筒灌浆饱满性一次性合格率显著提高。