北京
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国家知识产权局信息显示，圆益IPS股份有限公司申请一项名为“基板支撑装置及包括此的基板处理装置”的专利，公开号CN122663682A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，根据本发明的实施例的基板支撑装置包括：放置板，在内部设置用于加热所述基板的加热器，在上部放置所述基板；第一供电线路与第二供电线路，连接所述加热器与给所述加热器供应电源的加热器电源装置；第一RF滤波器单元与第二RF滤波器单元，分别设置在所述第一供电线路与所述第二供电线路上，以供从所述加热器电源装置供应的电源通过，并且阻断为了形成等离子体而供应的RF电源；及高通电路，位于所述加热器与所述第一及第二RF滤波器单元之间，并且设置在连接所述第一供电线路与所述第二供电线路的连接线路上，以阻断所述RF电源。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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