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28nm+芯片,半导体设备国产化率,已超过了50%!

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大家都知道,一直以来,大家都希望半导体设备能够国产化。

原因在于美国、日本、荷兰,已经联手对中国的芯片产业进行封锁,而封锁的主要抓手就是设备,它们能够限制半导体设备出口,想要卡住我们制造芯片的水平。

比如ASML的EUV不能卖,高端浸润式DUV也不能卖,还有应用材料、东京电子等等的先进设备,都不准卖给我们。



而芯片是我们必须要发展的产业,也是一定要突破的产业,所以既然这样,那就只有国产化一条路可走,用国产设备,替代掉国外的设备,那么就再也卡不住我们了。

那么到目前,我们的半导体设备国产化率到底怎么样了?前段时间,日本媒体发布了一张关于前道,后道设备的截止至2025年的整体国产化率,大家可以参考一下。



但这个因为更多的是总体,不分工艺,也没有太具体的设备类型划分,很多人看的不太明白。

而近日,又有媒体针对不同的工艺,以及不同的种类,做出了相对细致一点的分析,大家可以看的更加的明白一点了。

首先是在28nm及以上的成熟工艺阶段,清洗、刻蚀、热处理、CMP四大类设备已实现50%+国产化,基本可支撑半自主生产。

当然这里并不是指我们只有50%的能力,实际上能力远超过50%,只是有些设备,没必要一定要坚持用国产全部换掉。



在14nm及以下的先进工艺,则严重很多,仅部分刻蚀、清洗设备可少量替代,而像光刻、量测、离子注入、ALD四大类尖端设备国产化率均不足10%,是核心卡脖子环节。

此外,从设备类型来看,像光刻机、电子束缺陷检测、高能离子注入机,这三类,应该是当前国产化率最低、技术壁垒最高的三类尖端设备了。

而像干法刻蚀机(介质/硅刻蚀)、清洗/去胶设备、氧化/扩散热处理炉这三类,则是国产化率最高的设备,在28nm+工艺上,国产化率都超过60%以上了。



可见,总体来讲,在28nm这样的成熟工艺,我们已经基本不用担心被卡脖子了,但在14nm及以下的先进工艺上,国产化率还较低,还相当依赖从国外进口设备。

所以接下来,在成熟芯片国产化率稳步提升的同时,也要在先进芯片设备上下功夫,提高先进芯片设备的国产化率才行。

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