国家知识产权局信息显示,上海光通信有限公司申请一项名为“金属薄膜沉积温度的监控方法与监控片”的专利,公开号CN122610030A,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,本申请实施例提供一种金属薄膜沉积温度的监控方法与监控片,方法包括:提供硅片,在第一温度下,在硅片上生长第一金属层,在第二温度下,在所述硅片的第一金属层上沉积第二金属层,检测监控片上第二金属层的反射率判断机台的沉积温度是否为第二温度,第二温度高于第一温度。本申请以Ti薄膜层为衬底所沉积的AL晶粒的尺寸小,光滑度较高,AL晶粒的尺寸变化随温度变化较为明显,所以基于本申请提供的方法,提高了AL晶粒的反射率对沉积温度变化的敏感性。
天眼查资料显示,上海光通信有限公司,成立于1988年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2038786.497万人民币。通过天眼查大数据分析,上海光通信有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目58次,财产线索方面有商标信息12条,专利信息113条,此外企业还拥有行政许可183个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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