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继今年官宣投入1.1万亿韩元新建OLED工厂后，LG Display（LGD）再度落地关键产能升级举措，正采购核心生产设备，用于改造其位于韩国京畿道坡州市的AP5生产线，搭建低温多晶氧化物（LTPO）工艺体系，持续强化中小尺寸OLED屏幕生产能力。
据韩媒上周五晚透露，LG Display目前已联合合作厂商，敲定AP5产线LTPO工艺所需溅射设备的引进计划，现阶段正针对多款设备规格，最终敲定最优配置方案，同步协调设备参数与采购数量。
公开资料显示，AP5是LG Display专为苹果iPad LTPO薄膜晶体管（TFT）屏幕打造的第六代生产线，自2024年正式量产，后续该产线也逐步拓展应用于智能手机OLED屏幕的生产制造。产能方面，目前坡州AP5生产线每月可投入约15000片玻璃基板；随着规划2028年投产的新产线落地（月产能7500片玻璃基板），整条产线月度基板供应量将提升至22500片，产能规模实现大幅扩容。
据了解，LTPO技术融合了低温多晶硅（LTPS）TFT与氧化物TFT两大技术优势，既保有低温多晶硅高电流驱动的特性，又具备氧化物低漏电流的特点。依托该技术，屏幕可实现刷新率动态调节，能够有效降低设备功耗，是当前中小尺寸高端显示屏的核心技术方向。
针对LTPO工艺不同薄膜生产需求，LG Display将差异化选用溅射设备，目前正对比两类设备方案：一类是针对单一工艺优化的标准型溅射设备，另一类是可适配多场景生产的混合型溅射设备。作为LTPO工艺的核心设备，溅射设备主要用于在真空环境下，将氧化物材料沉积在基板上，形成完整的氧化物半导体薄膜。而氧化物薄膜成型前后，还需配套完成等离子体处理、热处理、光刻显影、蚀刻等一系列关联工艺。
此次溅射设备采购吸引了多家行业厂商参与竞标，其中Abaco、ALVAC等企业成为核心供货候选方。业内人士表示，目前LG Display正与Abaco、ALVAC等设备厂商，深度洽谈AP5产线LTPO溅射工艺的设备配置与规格细节，最终采购订单体量，将根据敲定的设备类型确定。
本次LTPO工艺设备采购，是LG Display去年产能升级计划的重要延续。去年4月，该公司宣布启动1.1万亿韩元的OLED生产设施投资项目，项目周期持续至2028年6月，核心目标是扩容升级AP5工厂生产基地，实现下一代中小尺寸OLED屏幕的技术研发与规模化量产。
在此之前，LG Display已选定Sunic Systems作为AP5第六代OLED蒸镀设备供应商，由其同步配套供应蒸镀工艺相关的真空物流设备。按照整体产能升级规划，LG Display后续还将陆续采购LTPO工艺转型所需的各类配套设备，溅射设备即为本次核心采购品类。
据悉，LG Display正从生产效率、工艺灵活性、投资成本三大维度，综合评估适配不同薄膜工艺的标准型与混合型设备配置方案，择优确定最终设备规格。而溅射设备采购订单落地时间晚于沉积设备，核心原因是两大工艺流程高度关联，需待沉积系统及整条产线的整体配置完全确定后，才能最终敲定薄膜材料、生产流程与设备布局方案，行业内也普遍遵循先确定沉积及真空物流设备，再后采购溅射设备的落地流程。
按照LG Display的推进计划，本次溅射设备供应商将于8月内最终敲定，最晚于明年4月完成设备引进，2027年第二季度全面完成设备安装调试。
值得注意的是，显示器专用溅射设备需根据厂商工艺流程定制化生产，规格确定后，还需历经设计、零部件采购、整机组装、内部检测、客户验收等全流程环节，设备交付后还需完成真空、电气对接及工艺参数调试等落地工作。为保障明年4月的交付节点，今年8月底已成为设备下单的最后截止时间。
有韩国业内人士坦言，本次AP5产线溅射设备的规格制定进度略晚于初期预估，目前行业各方正加快推进对接工作，确保8月内敲定全部设备配置与采购规模，全力保障明年4月的设备交付与后续产能升级进度。
译文
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