上海
上期我们讲了EBSD的结果想要做好，制样的很重要，制样结果的好坏很大程度上决定了测试结果的好坏。那么今天我们来介绍2种制样方法以及它们各自适用的一些制样情况。
01振动抛光
振动抛光实际上属于机械抛光的一种，上期我们讲过，直接的机械打磨因为有外部压力存在，会在样品表面留下划痕，导致最后测试的效果不好。因此传统的机械抛光一般是在样品比较粗糙的前处理上。
而振动抛光的原理，如下图所示；一般将研磨剂和被加工对象混合之后，通过电机带动使得整个容器不断的进行高频振动，通过调整振动的方向，流向使得研磨机不断的与器件发生摩擦，因为这种振动是细小且短暂的，因此对表面的磨损是很小的，通过长时间的高频振动，最终达到抛光的目的可以很好的完成抛光的工作。
近年来对于振动抛光的方式又有诸多改进，如将薄膜样品镶嵌之后固定住，然后再进行振动抛光处理可以对指定面进行抛光。用超声波取代电机，达到更加高效细致的抛光处理
适合样品：薄膜薄片类的，小器件样品，不适合化学腐蚀的物件等。
缺点：整个抛光时间很长一般处理一次样品需要几十分钟甚至数个小时。
振动抛光原理示意图
02电解抛光
电解抛光实际上属于化学腐蚀的一种，利用电解池的原理，把需要抛光样件放在阳极处，放在电解质液中，然后利用电解的原理让被抛光的物质表面腐蚀掉一层。
当存在毛刺的时候毛刺接触电解的更多反应也越剧烈，随着反应的进行整个表面会逐渐趋于平整，这个时间很快的一般几秒到几十秒就能完成一次抛光处理。
因此电解抛光本身也运用于工业上对金属零件的抛光处理。
适合样品：金属样品；比较大的器件，经得起表面腐蚀样品。
缺点：不适合样品量少的样品，并且需要合适的抛光电解液配合才能达到较好的效果。
电解抛光示意图
以上是我们今天介绍的2种常见的样品抛光方法。后续还会继续介绍其他的相关处理办法
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